-
แก้วควอตซ์ออปติคอล
-
เครื่องจักรกลแก้วควอตซ์
-
หลอดแก้วควอตซ์
-
หลอดเส้นเลือดฝอยควอตซ์
-
หลอดแก้วบอโรซิลิเกต
-
ก้านแก้วควอตซ์
-
อะไหล่เลเซอร์
-
เป้าหมายการสปัตเตอร์ซิลิคอนไดออกไซด์
-
เครื่องควอตซ์
-
แผ่นแก้วควอตซ์
-
ชิ้นส่วนกระจกแบบกำหนดเอง
-
ชิ้นส่วนเซรามิกแบบกำหนดเอง
-
อุปกรณ์การผลิตออปติคอล
-
เครื่องทำฝาแก้วมือถือ
-
เครื่องมือวัดทางแสง
-
คริสตัลออปติคัล
5 หลุม 127x127x3 มิลลิเมตร Quartz กระจกแผ่นสําหรับ 5 นิ้ว Semiconductor อุปกรณ์การปรับระดับ
| วัสดุ | แก้วควอตซ์ | ขนาด | 127มม. x 127มม. x 3มม |
|---|---|---|---|
| จำนวนหลุม | 5 | ขนาดเวเฟอร์ที่เข้ากันได้ | 5 นิ้ว |
| ความเรียบ | ความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ | ความอดทนของหลุม | ความอดทนแน่น |
| พื้นผิวเสร็จสิ้น | ขัดเงาอย่างแม่นยำสองด้าน | แอปพลิเคชัน | การสอบเทียบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์, Prober, AOI, Die Bonder |
| เน้น | แผ่นกระจกควอตซ์ 127x127x3 มม.,แผ่นกระจกควอตซ์ 5 หลุม,แผ่นสอบเทียบเวเฟอร์ 5 นิ้ว |
||
แผ่นแก้วควอตซ์ 5 หลุม 127x127x3 มม. สำหรับการสอบเทียบเวเฟอร์ขนาด 5 นิ้ว
แผ่นสอบเทียบแก้วควอทซ์ 5 รูนี้เป็นเครื่องมือสอบเทียบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง ด้วยขนาด 127x127x3 มม. และรูกำหนดตำแหน่งด้วยเครื่องจักรอย่างแม่นยำ 5 รู จึงตรงกับข้อกำหนดเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 5 นิ้วสำหรับการตรวจสอบและสอบเทียบอุปกรณ์รายวันสำหรับโพรบ, AOI, ดายบอนเดอร์ และการใช้งานมาตรวิทยาเชิงแสง
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
| พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| วัสดุ | แก้วควอทซ์ |
| ขนาด | 127มม. x 127มม. x 3มม |
| จำนวนหลุม | 5 |
| ขนาดเวเฟอร์ที่เข้ากันได้ | 5 นิ้ว |
| ความเรียบ | ความแม่นยำสูงพิเศษ |
| ความอดทนของรู | ความทนทานที่แน่นหนา การเจาะที่แม่นยำ |
| พื้นผิวเสร็จสิ้น | ขัดเงาอย่างแม่นยำสองด้าน |
| ระดับความเครียด | ความเครียดต่ำ |
| ทนต่อสารเคมี | ทนต่อตัวทำละลายในการทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ |
| ความเสถียรของมิติ | ความแม่นยำที่มั่นคงสำหรับการใช้ซ้ำในระยะยาว |
คุณสมบัติที่สำคัญ
- 5 รูตำแหน่งที่แม่นยำ– รูระบุตำแหน่งห้ารูที่มีความทนทานสูงสำหรับการสอบเทียบพิกัดอุปกรณ์ แทนที่การตรวจสอบเวเฟอร์ซิลิคอนรายวัน
- ความเรียบสูงเป็นพิเศษ– พื้นผิวขัดเงาสองด้านที่มีความแม่นยำโดยมีการเสียรูปเนื่องจากความร้อนน้อยที่สุดเพื่อความแม่นยำในการสอบเทียบที่สม่ำเสมอ
- ความต้านทานต่อการทำความสะอาดสารเคมี– ทนทานต่อตัวทำละลายทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์มาตรฐาน โดยคงความเสถียรของมิติหลังจากรอบการทำความสะอาดซ้ำแล้วซ้ำอีก
- ความสม่ำเสมอของแสง– แก้วควอทซ์ความเค้นต่ำช่วยให้มั่นใจได้ถึงการส่งผ่านแสงที่สม่ำเสมอสำหรับ AOI และระบบการตรวจสอบด้วยภาพ
- ความมั่นคงในระยะยาว– ความเที่ยงตรงคงที่ตลอดการใช้งานซ้ำในระยะยาว ออกแบบมาเป็นมาตรฐานการสอบเทียบอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะ
การใช้งาน
1. การตรวจสอบเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
แผ่นสอบเทียบหลักสำหรับความเรียบของเวเฟอร์ขนาด 5 นิ้วและการตรวจสอบมิติ รูระบุตำแหน่งห้ารูช่วยให้สามารถสอบเทียบพิกัดของอุปกรณ์ในแต่ละวัน แทนที่รูทีนการตรวจสอบเวเฟอร์ซิลิคอนมาตรฐาน แผ่นอ้างอิงการตรวจสอบออปติคอล AOI สำหรับการปรับโฟกัสเลนส์และความแม่นยำในการจดจำ
2. กระบวนการบรรจุภัณฑ์และการตรวจวัด
แผ่นอ้างอิงการวางตำแหน่งสถานีโพรบสำหรับการตรวจสอบตำแหน่งโพรบและการตรวจสอบความเรียบของแท่นผ่านรูปแบบห้ารู การสอบเทียบการจัดตำแหน่งเครื่องยึดติดและการจัดวางตำแหน่งแก้ไขการเบี่ยงเบนตำแหน่งทางกล
3. ห้องปฏิบัติการมาตรวิทยาเชิงแสง
แผ่นสอบเทียบมาตรฐานสำหรับเครื่องวัดการมองเห็นและเครื่องทดสอบรูปร่าง ใช้สำหรับการตรวจสอบความถูกต้องแม่นยำในการวัดอุปกรณ์ทั่วไป
4. การสอบเทียบอุปกรณ์ติดตั้งสายการผลิตอัตโนมัติ
มาตรฐานการสอบเทียบเครื่องมืออุปกรณ์อัตโนมัติของเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาเพื่อการทำความสะอาดซ้ำๆ โดยไม่เสียรูปในสภาพแวดล้อมการผลิต
ข้อดีเหนือกระจกธรรมดา
แผ่นสอบเทียบแก้วควอตซ์นี้ต่างจากแผ่นกระจกทั่วไป มีการขัดเงาด้วยความแม่นยำสองด้านโดยมีการเสียรูปพื้นผิวต่ำมาก โคแอกเชียลแบบห้ารูและเส้นผ่านศูนย์กลางของรูได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวดภายใต้เกณฑ์ความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวด ทนทานต่อสารเคมีทำความสะอาดมาตรฐานเซมิคอนดักเตอร์ ให้ความแม่นยำที่มั่นคงตลอดการใช้งานซ้ำในระยะยาว ทำให้กลายเป็นชิ้นส่วนสอบเทียบมาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์

