หนา 9 นิ้ว กระปุกการปรับระดับ Quartz กระจกแผ่นอุณหภูมิสูง

แผ่นกระจกสอบเทียบเวเฟอร์หนา 9 นิ้ว เป็นแผ่นอ้างอิงแสงที่มีความแม่นยำสูง ออกแบบมาเพื่อการตรวจสอบมิติ รูปลักษณ์ และความเรียบของเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ ผลิตจากซิลิกาหลอมเหลวที่มีการส่งผ่านแสงสูง หรือกระจกโบโรซิลิเกตไร้ด่าง แผ่นสอบเทียบนี้มีขนาดเท่ากับเวเฟอร์มาตรฐาน 9 นิ้ว พร้อมโครงสร้างที่หนาขึ้นเป็นพิเศษเพื่อป้องกันการโค้งงอและการบิดเบี้ยวระหว่างรอบการตรวจสอบซ้ำๆ พื้นผิวด้านคู่ที่ขัดเงาด้วยความแม่นยำสูงพิเศษ ให้ความเรียบและขนานระดับออปติคัล เป็นฐานอ้างอิงทางเรขาคณิตที่เสถียรสำหรับระบบตรวจสอบแสงอัตโนมัติ ในฐานะที่เป็นแผ่นอ้างอิงสำหรับการสอบเทียบโดยเฉพาะ แผ่นนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าข้อมูลการวัดมีความสม่ำเสมอและสามารถทำซ้ำได้ตลอดการผลิตจำนวนมาก ทำให้เป็นเครื่องมือที่จำเป็นสำหรับการผลิตเวเฟอร์ การจัดแนวลิโธกราฟี และการวัดภาพด้วยแสง

• โครงสร้างหนาเพื่อความแข็งแรง: แผ่นเสริมความแข็งแรงป้องกันการบิดเบี้ยวระหว่างการตรวจสอบ ให้ข้อมูลการสอบเทียบที่เสถียรและทำซ้ำได้
• การขัดเงาด้วยแสงความแม่นยำสูงพิเศษสองด้าน: พื้นผิวปราศจากรอยขีดข่วน หลุม ฟองอากาศ และสิ่งเจือปน มีความเรียบและขนานระดับออปติคัล
• การส่งผ่านแสงสูงสม่ำเสมอตั้งแต่ UV ถึงแสงที่มองเห็น: ซับสเตรตที่มีความบริสุทธิ์สูงช่วยลดการรบกวนจากแสงสะท้อน และเข้ากันได้กับอุปกรณ์ตรวจสอบแสงอัตโนมัติ AOI อย่างสมบูรณ์
• ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: การเสียรูปน้อยที่สุดภายใต้การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ ช่วยให้รูปทรงอ้างอิงคงที่ และวัสดุทนทานต่อสารละลายทำความสะอาดกรดและด่าง
• ขอบที่ลบมุมด้วยความแม่นยำ: ขอบที่ปราศจากการบิ่นช่วยปกป้องเวเฟอร์และเลนส์ตรวจสอบจากรอยขีดข่วนระหว่างการหยิบจับและโหลด

แผ่นกระจกสอบเทียบเวเฟอร์หนา 9 นิ้ว ทำหน้าที่เป็นแผ่นอ้างอิงแสงอเนกประสงค์ในสภาพแวดล้อมการผลิตและตรวจสอบสารกึ่งตัวนำ มีการใช้งานอย่างแพร่หลายสำหรับการสอบเทียบมิติเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 9 นิ้ว โดยให้มาตรฐานทางเรขาคณิตที่เชื่อถือได้เพื่อยืนยันความแม่นยำของเครื่องมือวัด ในการตรวจสอบความเรียบของเวเฟอร์ พื้นผิวระดับออปติคัลทำหน้าที่เป็นฐานอ้างอิงที่เชื่อถือได้สำหรับการเปรียบเทียบความสม่ำเสมอของพื้นผิวและการตรวจจับความเบี่ยงเบน แผ่นนี้ยังทำหน้าที่เป็นตัวยึดมาตรฐานสำหรับเครื่องมือวัดภาพด้วยแสง รองรับการวางตำแหน่งที่สม่ำเสมอระหว่างการวิเคราะห์มิติ ในอุปกรณ์ลิโธกราฟี ทำหน้าที่เป็นแผ่นสอบเทียบการจัดแนวที่ช่วยรักษาความแม่นยำของการลงทะเบียนรูปแบบ นอกจากนี้ แผ่นนี้ยังถูกนำมาใช้เป็นฐานยึดสำหรับการตรวจสอบข้อบกพร่องบนพื้นผิวเวเฟอร์ โดยให้แพลตฟอร์มที่เรียบ เสถียร และปราศจากสิ่งปนเปื้อนสำหรับระบบตรวจจับข้อบกพร่องอัตโนมัติ

• แผ่นหนาป้องกันการโค้งงอ: โครงสร้างเสริมความแข็งแรงป้องกันการเลื่อนของจุดอ้างอิงระหว่างการตรวจสอบจำนวนมากในระยะยาว ทำให้ผลการสอบเทียบเชื่อถือได้ในแต่ละกะ
• วัสดุความบริสุทธิ์สูงปราศจากการตกตะกอน: ซับสเตรตที่สะอาดไม่ปล่อยสารปนเปื้อน ช่วยปกป้องเวเฟอร์จากมลพิษระหว่างการตรวจสอบแบบสัมผัส
• มีบริการปรับแต่งเต็มรูปแบบ: ความหนา การเคลือบแสง การทำเครื่องหมายมาตราส่วนการจัดแนว การเซาะร่อง และการเจาะรู สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า
• ความสม่ำเสมอของแต่ละชิ้นสูง: การควบคุมการผลิตที่เข้มงวดทำให้แผ่นสามารถใช้งานแทนกันได้ในเครื่องตรวจสอบหลายเครื่องที่มีประสิทธิภาพเหมือนกัน